佳能光刻機22納米，光刻機是制造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備 。光刻機可以分鐘兩種，分別是模板和圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼芯片；第二是類似投影機原理的stepper ， 獲得比模板更小的曝光圖樣 。
【佳能光刻機多少納米】
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