ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質譜儀，主要用途是進行化學元素分析檢測，特別是對金屬元素分析最擅長，也能分析B、P、As等非金屬元素 。他和ICP-OES、AAS是化學元素分析的常用的三種儀器，ICPMS的檢測限最低 ， 可以達到PPT（10的負12次方）級 。
ICP-MS所用 電離源是感應耦合 等離子體（ICP） ， 它與 原子發射光譜儀所用的ICP 是一樣的，其主體是一個由三層石英套管組成的炬管 ， 炬管上端繞有負載線圈，三層管從里到外分別通載氣 ， 輔助氣和冷卻氣，負載線圈由高頻電源耦合供電，產生垂直于線圈平面的磁場 。如果通過高頻裝置使氬氣電離 ， 則氬離子和電子在 電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產生更多的離子和電子 ， 形成 渦流 。強大的電流產生高溫，瞬間使 氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬 。樣品由 載氣帶入等離子體焰炬會發生蒸發、分解、激發和 電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1 L每min 。冷卻氣以切線方向引入外管，產生螺旋形氣流 ， 使負載線圈處外管的內壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15 L每min 。
【ICP-MS是什么 icp-ms全稱】
